微机电系统(MEMS)领域的国际顶级会议暨第31届IEEE MEMS大会在

日前,微机电系统(MEMS)领域的国际顶级会议暨第31届IEEE MEMS大会在英国贝尔法斯特召开。此次会议有874篇论文投稿,录用了347篇,接收率为40%。西北工业大学机电学院“空天微纳系统教育部重点实验室”常洪龙教授课题组共有5篇论文在会上进行了展示,其中有一篇论文“A Micro Resonant Electrometer with 9-Electron Charge Resolution in Room Temperature”经过大会技术程序委员会(TPC)38位国际著名MEMS专家的双盲评审,脱颖而出获得了本次大会的最佳论文提名奖,并在大会上同时进行了口头报告与海报展示。该论文的第一作者为西工大机电学院硕士生杨晶,指导教师为常洪龙教授。

 

该论文报道了一种基于三自由度弱耦合谐振器的静电计,在室温下实现了9.21e分辨率的检测,更为重要的是这个高分辨率是在300万个电子这样的大动态范围下获得的,其在基础物理研究、电子测量、空间探测等领域具有重要的应用前景。